產品特色:
◆ 精密探針定位裝置,激光(guang)光(guang)斑對(dui)準調節非常(chang)簡便
◆ 自動光學定(ding)位(wei)(wei),無需調焦(jiao),實(shi)時觀測(ce)與定(ding)位(wei)(wei)探針樣品掃描區(qu)域
◆ 激光(guang)檢測頭和(he)樣品掃描(miao)臺(tai)集成一(yi)體,結構非(fei)常穩(wen)定,抗干擾(rao)性強
◆ 彈簧懸(xuan)掛(gua)式防(fang)(fang)震方式,簡單實用(yong),防(fang)(fang)震效果好
◆ 單軸驅動(dong)樣品自動(dong)垂(chui)直接近探針(zhen),使針(zhen)尖(jian)垂(chui)直于樣品掃描(miao)
◆ 馬達控制加壓(ya)電(dian)陶瓷自動探(tan)測的智能(neng)進針(zhen)方(fang)式,保護探(tan)針(zhen)及樣品
◆ 金屬屏蔽隔(ge)音(yin)箱,內置高(gao)精(jing)度溫濕度傳(chuan)感器,實時監測工作環境
◆ 集成掃描器非(fei)線性校正用戶編輯器,納米(mi)表(biao)征和測量精度優(you)于98%
技術參數(shu):
工(gong)作模式 | 接觸模式、輕敲模式 | 樣(yang)品臺行程(cheng) | 15×15mm |
選配模式 | 摩擦力/側向力、振幅/相(xiang)位、磁力/靜電力 | 光(guang)學觀察 | 4X光(guang)學物鏡/2.5um分(fen)辨(bian)率 |
力(li)譜曲線 | F-Z力曲(qu)線、RMS-Z曲(qu)線 | 掃描速率 | 0.6Hz~30Hz |
XY掃描范圍 | 20×20um,可選(xuan)50×50um,100×100um | 掃描(miao)角度 | 0~360° |
Z掃描范(fan)圍 | 2.5um,可選5um,10um | 運行環境 | Windows XP/7/8/10操作(zuo)系統 |
掃描分辨(bian)率 | 橫向0.2nm,縱向0.05nm | 通信接口 | USB2.0/3.0 |
樣品(pin)尺寸 | Φ≤90mm,H≤20mm | 減震(zhen)設計(ji) | 彈簧(huang)懸掛/金屬(shu)屏蔽箱 |