產(chan)品特色:
◆ 光(guang)學顯微鏡(jing)、原子力顯微鏡(jing)和拉曼光(guang)譜(pu)儀一體化設計,功能強大
◆ 同時具(ju)備(bei)光學顯(xian)微鏡、原子(zi)力顯(xian)微鏡成像(xiang)功能(neng),以(yi)及拉曼光譜分析功能(neng),互不影響
◆ 同時(shi)具備光學二(er)維測(ce)量(liang)和(he)原(yuan)子力顯微鏡三維測(ce)量(liang)功能
◆ 激光(guang)檢測頭(tou)和樣品掃描臺集成(cheng)一體,結構非(fei)常穩定,抗干擾性強(qiang)
◆ 精密探針(zhen)定(ding)位裝置,激光光斑對(dui)準調(diao)節非(fei)常簡便
◆ 單軸驅動樣品(pin)自動垂直接近探針(zhen),使針(zhen)尖垂直于樣品(pin)掃描
◆ 馬達控制加(jia)壓電陶瓷自動(dong)探測的智能進(jin)針(zhen)方(fang)式,保護(hu)探針(zhen)及(ji)樣品
◆ 超高倍(bei)光學定(ding)位(wei)系統,實現探(tan)針和(he)樣品(pin)掃描(miao)區(qu)域精確定(ding)位(wei)
◆ 集成掃描器非線性校正用(yong)戶編輯器,納米表征和測(ce)量精度(du)優于98%
◆ 可支持405nm、532nm、633nm、785nm、830nm、1064nm等多個(ge)波長
技術參(can)數:
原子力顯微鏡:
工(gong)作模式(shi) | 接觸模式、輕敲模(mo)式(shi) | 光學(xue)目(mu)鏡 | 10X |
選(xuan)配模(mo)式 | 摩擦力/側(ce)向力、振(zhen)幅/相位、磁力/靜電力(li) | 照明方式 | 柯勒照明系(xi)統 |
力譜曲線 | F-Z力曲線、RMS-Z曲(qu)線 | 光學調焦 | 粗微動手動調焦 |
XY掃(sao)描范(fan)圍 | 50×50um,可選(xuan)20×20um,100×100um | 攝像頭 | 500萬像素(su)CMOS傳感器 |
Z掃描范圍 | 5um,可選2.5um,10um | 顯示(shi)屏(ping) | 10.1寸平板顯示器,帶圖(tu)像(xiang)測量功能 |
掃描分辨(bian)率 | 橫向0.2nm,縱向0.05nm | 掃描(miao)速(su)率 | 0.6Hz~30Hz |
樣品(pin)尺寸 | Φ≤68mm,H≤20mm | 掃描角度 | 0~360° |
樣品臺行程(cheng) | 25×25mm | 運行環(huan)境(jing) | Windows XP/7/8/10操作系統 |
光學物(wu)鏡 | 5X/10X/20X/50X平(ping)場復消(xiao)色差物鏡(jing) | 通信接口 | USB2.0/3.0 |
拉曼(man):
拉曼光譜范圍 | 200-3600cm-1 |
分(fen)辨(bian)率(lv) | <15cm-1@25μm slit |
激(ji)光器 | 532±1nm,線(xian)寬(kuan)≤0.2nm(可(ke)選配不同(tong)波(bo)段的激光器) |
激光功率穩定性 | ≤3% P-P(@2hrs) |
輸(shu)出(chu)功率 | 0-100mW 可(ke)調 |
濾光(guang)片激光(guang)截止(zhi)深度 | OD8 |
工作溫度 | 0-40℃ |
工作濕度 | 5-80% |
激光(guang)器壽命 | 5000hrs |