產品特色:
◆ 小型化及可拆卸化設計,非常便于攜帶及教學
◆ 精密(mi)探針定位裝置,激光(guang)光(guang)斑對準(zhun)調節(jie)非常(chang)簡便
◆ 自動(dong)光(guang)學定(ding)位(wei)(wei),無(wu)需(xu)調(diao)焦,實(shi)時觀測與定(ding)位(wei)(wei)探針樣(yang)品(pin)掃描區域
◆ 激光檢測頭(tou)和樣品掃(sao)描臺集成一體,結構非常穩(wen)定(ding),抗干擾性強(qiang)
◆ 彈簧懸掛(gua)式防震方式,簡單實(shi)用,防震效(xiao)果好
◆ 單軸驅動樣(yang)品(pin)自(zi)動垂(chui)(chui)直(zhi)接近(jin)探針,使針尖垂(chui)(chui)直(zhi)于樣(yang)品(pin)掃描
◆ 馬達控(kong)制加壓電陶瓷自動探測的智能(neng)進針(zhen)方式,保護探針(zhen)及樣品
◆ 集成掃描器非(fei)線性校正(zheng)用(yong)戶編輯器,納米表征(zheng)和測量(liang)精度優于98%
技術參數:
工作模式 | 輕(qing)敲模式、RMS-Z曲線 | 樣品行程臺 | 15×15mm |
選配(pei)模(mo)式 | 接觸(chu)、摩擦(ca)力/側向(xiang)力、振幅/相(xiang)位(wei)、磁力/靜電力 | 光學觀(guan)察 | 4X光學物鏡/2.5um分辨率 |
選配力曲線 | F-Z力曲線 | 掃描(miao)速率 | 0.6Hz~30Hz |
XY掃(sao)描范圍 | 20×20um,可選50×50um,100×100um | 掃(sao)描角度 | 0~360° |
Z掃描范圍 | 2.5um,可(ke)選5um,10um | 運(yun)行環境 | Windows XP/7/8/10操(cao)作系統 |
掃描分辨(bian)率 | 橫向0.2nm,縱向0.05nm | 通信接口(kou) | USB2.0/3.0 |
樣品尺寸(cun) | Φ≤90mm,H≤20mm | 減震方式(shi) | 彈簧懸掛 |