原子力顯微鏡通過檢測(ce)(ce)待(dai)測(ce)(ce)樣品(pin)(pin)表面(mian)和一個微型力敏感元件(jian)之間的(de)極微弱(ruo)的(de)原子間相互(hu)作(zuo)用(yong)力來研(yan)究物質的(de)表面(mian)結構(gou)及(ji)性質。將一對微弱(ruo)力敏感的(de)微懸(xuan)臂一端固定(ding)，另(ling)一端的(de)微小針尖接近(jin)樣品(pin)(pin)，這時它(ta)將與其(qi)相互(hu)作(zuo)用(yong)，作(zuo)用(yong)力將使得微懸(xuan)臂發(fa)生(sheng)形(xing)變(bian)或運動狀態發(fa)生(sheng)變(bian)化。掃描樣品(pin)(pin)時，利用(yong)傳(chuan)感器檢測(ce)(ce)這些變(bian)化，就可獲得作(zuo)用(yong)力分布信(xin)息，從(cong)而以納米級分辨率獲得表面(mian)形(xing)貌結構(gou)信(xin)息及(ji)表面(mian)粗糙(cao)度信(xin)息。 核心組件
探針：通常(chang)是半(ban)徑在10納米(mi)以(yi)下的懸臂梁，靠近樣品表面(mian)時，其原(yuan)子(zi)與樣品表面(mian)原(yuan)子(zi)間會(hui)產生范德華力(li)(li)、靜電(dian)力(li)(li)、化學鍵(jian)作用力(li)(li)等多(duo)種力(li)(li)。
激(ji)光(guang)(guang)束反(fan)射系統：一束激(ji)光(guang)(guang)照射到懸臂背面并反(fan)射到光(guang)(guang)電二極管(guan)陣(zhen)列上(shang)。當懸臂因表面作(zuo)用力發生(sheng)彎曲時，反(fan)射光(guang)(guang)斑(ban)在(zai)四象光(guang)(guang)電探(tan)測(ce)器上(shang)的位置(zhi)會改變，由(you)此(ci)轉化(hua)為可測(ce)量(liang)的信號。
壓電陶瓷掃描臺：實(shi)現高精(jing)度的(de)三(san)維掃描，使探(tan)(tan)針沿x、y方(fang)向逐行(xing)移動，同時(shi)通過z軸反饋回(hui)路控(kong)制探(tan)(tan)針與樣品(pin)間的(de)距離，保(bao)持相(xiang)互作(zuo)用力恒(heng)定(ding)，進而生成包含表面形(xing)貌(mao)信息的(de)三(san)維圖像。
在原子(zi)力(li)顯(xian)微(wei)鏡（AFM）領域，國內(nei)外有多家(jia)具備(bei)技術實(shi)力(li)和市場影響力(li)的廠家(jia)。
蘇州飛時曼精密儀(yi)器有限公司
技術(shu)優勢：核心產品包括FM-NanoviewRa-AFM拉(la)曼一體機(ji)，分辨率達XY向0.2nm、Z向0.05nm，支(zhi)持擴展至50μm×5μm掃描范圍(wei)。擁有自主知識產權30多(duo)項，研發的多(duo)款產品通過(guo)CE、ISO9001、SGS認證。
應用領域：覆蓋半導(dao)體、生(sheng)物醫學、材料科學等，尤其(qi)在半導(dao)體器(qi)件形貌(mao)檢(jian)測(ce)中表(biao)現(xian)突出，可實現(xian)非破壞性高效測(ce)量。
服務與定制：提供專業級微納米顯微設備定制，售后服務響應迅速，注重客戶需求匹配。
